| | 加工定制：否 | | 型号：S600 | | 响应速度：1.5″ | |
| | 测量范围：10SCCM-200SLM | | 测量精度：±0.5% F.S. | | 显示方式：模拟和数字 RS485 / PROFIBUS / | |
什么是质量流量控制器？
What‘s Mass Flow Controller？
质量流量控制器可以根据设定流量发送的电信号自动控制气体流量，不受使用条件和气压的 影响。流量大致分为“体积流量”和“质量流量”。体积流量会受环境温度和压力的影响；实际流 量需要测量和计算压力和温度。质量流量受环境压力和温度的影响非常小，因此可以提供更准确稳 定的测量和控制。我们的质量流量控制器在工业领域使用广泛，在流量精确控制或自动生产线搭建中是不可缺少的设备。
S600 / S48 300/HMT 质量流量控制器采用 HORIBA STEC （日本）技术，在HORIBA Precision
Instruments （中国）生产制造。
HORIBA STEC 在流体技术和品质方面研发有半个世纪之久，在广泛的工业领域能够为客户提供全方位的支持。
特点
高精度/快速响应
多种通讯（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC设计
核心部件日本进口
应用
生物制药：发酵反应气的过程控制， 生物反应气体管理
食品饮料：混合，装瓶过程控制， 干燥冷却，包装保护器
工业炉：火焰/燃烧控制/气体混合
真空镀膜：薄膜沉积过程控制
汽车： 排放测试，排放监控、测量压 缩气体
热处理： 燃烧控制，焊接
分析/气体分析： 抽样分析。气体抽 样比例测试，从色谱仪中核查多气 体流动的气流气压
光纤： MCVD/VAD/OVD
PV： 扩散过程气体/PECVD/离子注入
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